1.半自動貼膜機(可用於8吋及12吋晶圓)
2.配合晶圓載框切割或單獨晶圓切割,卷式膜材或pre-cut(客製)
3.陶瓷平臺真空極限至100pa
■機台特性
4.可用到薄晶圓貼膜及貼膜後製程膠膜破損進行返工(亦可執行於切割後膠膜破損進行返工)
5.全新設計的載台可適用各種高度晶圓載框,實現翻面貼膜,
6.搭配冶具進行手動撕膜或另購P230 M自動撕膜平台進行撕膜